檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "鄭逸琳".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="奈米雙晶銅圖案化晶圓"
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本研究旨透過整合電腦積層拋光墊形貌模型(Computed Additive Pad Topography, CAPT)建立軟式複合墊3D模型,並藉由3D模型模擬拋光墊Asperity特徵參數,參數包…